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Scandium オプションソリューション

Scandium オプション製品ラインアップ

Detection

粒界を分離し閾値を元に粒子を解析するための包括的かつ高性能の拡張ソフトウェア

  • モフォロジカルフィルタリング
  • 粒子分離ツール(セパレータフィルタ)
  • 複数フェーズ粒子解析
  • 豊富な解析パラメータリストは解説付き
  • クラス分類
  • ROI

Height

ステレオ表示、サーフェイスレンダリング機能や荒さ計測を備えた表面計測ツール

  • 2枚のチルトペア画像からのステレオ表示、3D再構築
  • 高さ計測
  • EFI(拡張焦点機能):異なるフォーカス画像からの全焦点画像作成及びサーフェイスレンダリング
  • 粗さ計測
  • 3D情報の可視化

Automation

顕微鏡の電動ステージの自動ポジショニングをサポート
ウェハーやリソグラフマスク上のDieを直接アドレス化

  • 電動ステージの自動制御
  • 自動更新プロセスの完全オートメーション
  • ウェハーのポジショニング

Metrology

CD計測等への自動計測ツール

  • 対象構造物の自動キャリパーツール
  • 座標定義、インターセプト、角度、半径、距離
  • 計測の自動更新
  • 半導体の自動ライン計測
  • 臨海面の統計評価(CD)
  • 断面のサンプルの単一・複数レイヤーの厚さ計測

Metallography

定量的に金属組織解析を行うツール

  • 標準粒界構築
  • インターセプト・プレーンメトリックグレインサイズ計測
  • 鋳鉄解析
  • ヌープ・ビッカースマイクロ硬さ試験
  • ASTM或いはDIN、JISに拠る解析結果