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Alemnis SEM Indenter

SEM内で圧入、圧縮、引掻き、引張り、振動、加熱等のIn-situ試験が可能な、SEM用ナノインデンターです。
極小領域の、サンプルの挙動を観察しながら、応力、ひずみ等のデータを取得します。。
高荷重、長時間の試験、加熱しながらの応力試験でも安定して試験、データ収集が可能です。
光学顕微鏡など、SEM以外の機器とも使用可能です。

特徴

ハイダイナミックモジュール

高荷重試験(~1.5N)、高周波数加振試験(~10kHz、振幅:1um)が可能なモジュールです。

  • 最大荷重1N
  • プローブは3軸に稼動 (available tips: cube corner, berkovich, flat punch他)
  • 加振モード(3軸方向それぞれに速度:10kHz、振幅:1um
  • センサーモードは3軸方向に対応(数Hz~10kHz、RMS noise:10uN)
  • インデンター標準機に後付け可能

高温モジュール

ステージとプローブ(圧子)を最大600℃まで加熱しながらの応力試験が可能なモジュールです。

主な仕様

◆インデンター本体

試料ステージ 稼動範囲:10x10mm(XxY) 20mm(Z) 精度:2nm
インデンテーション 最大荷重:500mN  RMS Noise(@200Hz):4uN
最大変位:20um
ピエゾ駆動アクチュエーター
コントロール 変位 / 荷重
サイズ 長163mm x 幅65mm x 高45.5mm
電源 AC100~240V、50/60Hz
プローブ Cube corner, Flat punch, Verkovich 等(その他形状も製造可能)
加熱モジュール 最大600℃(オプション)
加振モジュール 荷重:最大1.5N、加振:最大10kHz、
振幅:最大1um

 
◆制御用ソフトウェア:AMICS

機能 試料ステージ制御、設定・キャリブレーション、
インデント制御、取得データ保存、
LabViewベースでカスタマイズ可能

試験例


インデンテーション


圧縮


スクラッチ


引張り

 

加熱+ピラー圧縮試験

– Strain rate jump tests on nanocrystalline Nickel micropillars1

1G. Mohanty, J.M. Wheeler, R. Raghavan, J. Wehrs, M. Hasegawa, S. Mischler, L. Philippe, J. Michler, Elevated temperature, strain rate jump microcompression of nanocrystalline Nickel, Philosophical Magazine, Nanomechanics Special Issue

 

ナノインデンテーション、スクラッチ試験

– Load displacement results (left) and compression, indentation and scratch experiments inside an SEM (right)