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CVD Equipment

フレキシブルCVDシステム

米国CVD Equipment社は約40年の歴史を持つCVD装置製造のパイオニアです。
ソフトウェアからハードウェア、クオーツウェアまで自社にて製造しており、R&Dからテストプラント、量産まで、フレキシブルなカスタマイゼーションと豊富な経験でユーザーの多様な要望にお応えします。

アプリケーション

航空・宇宙

ガラスコート

メディカル

ナノマテリアル

オプトエレクトロニクス

セミコンダクター

太陽光発電

機能コーティング

TCOコーティング

Firstnano® EasyTube®

Firstnano® EasyTube®は、研究開発用途に特化した小型でフレキシブルなCVD装置です。各種ガスラインの追加や内部構成の最適化等、豊富な経験に基づきお客様のご研究に最適な装置をご提案、提供致します。

EasyTube® 101
(基板サイズ:25 mm x 50 mm)

EasyTube® 2000
(基板サイズ:50  mm x 50 mm)

EasyTube® 3000
(基板サイズ:100  mm x 100 mm)

EasyTube® 3000EXT
(基板サイズ:150  mm x 150 mm)

EasyTube® 6000
(4 プロセスチューブ)

EasyTube® 6308
(3 プロセスチューブ)

CVDWinPrC™

CVD Equipment社の装置は全てCVDWinPrC™ソフトウェアから制御します。装置設定、レシピ編集、ログ記録、プロセスコントロールをグラフィカルに提供する優れたコントロールソフトウェアです。


プロセスコントロール


ログリーダー


レシピエディター


装置設定

The Finest Quartzware – 石英パーツ

CVD Equipment社では、最適なCVDプロセスに必要な石英パーツを自社でデザイン、製造致し、お役様の多様なニーズに柔軟に対応致します。

テストプラント、量産用CVDシステム

CVD Equipment社では、その他様々な用途のCVDシステムを製造しておりますので、お気軽にお問合せください。

ALD Systems

APCVD Systems

Crystal Growth Systems

CVI Systems

HTA Systems

HVPE Systems

LPCVD Systems

LPE Systems

MOCVD Systems

PECVD Systems

RTP/RTA Systems

SAS Systems

UHVCVD Systems