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SEM用画像解析ソフトウェア『Scandium』オプションソリューション

『Scandium』オプションソリューション一覧
オプション名	サンプル画像	詳細
Detection		粒界を分離し閾値を元に粒子を解析するための包括的かつ高性能の拡張ソフトウェアモフォロジカルフィルタリング粒子分離ツール（セパレータフィルタ）複数フェーズ粒子解析豊富な解析パラメータリストは解説付きクラス分類 ROI
Height		ステレオ表示、サーフェイスレンダリング機能や荒さ計測を備えた表面計測ツール 2枚のチルトペア画像からのステレオ表示、3D再構築高さ計測 EFI(拡張焦点機能)：異なるフォーカス画像からの全焦点画像作成及びサーフェイスレンダリング粗さ計測 3D情報の可視化
Automation		顕微鏡の電動ステージの自動ポジショニングをサポートウェハーやリソグラフマスク上のDieを直接アドレス化電動ステージの自動制御自動更新プロセスの完全オートメーションウェハーのポジショニング
Metrology		CD計測等への自動計測ツール対象構造物の自動キャリパーツール座標定義、インターセプト、角度、半径、距離計測の自動更新半導体の自動ライン計測臨海面の統計評価（CD）断面のサンプルの単一・複数レイヤーの厚さ計測
Metallography		定量的に金属組織解析を行うツール標準粒界構築インターセプト・プレーンメトリックグレインサイズ計測鋳鉄解析ヌープ・ビッカースマイクロ硬さ試験 ASTM或いはDIN、JISに拠る解析結果

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電子顕微鏡用画像解析ソフトウェア

Scandium: 基本仕様; オプションソリューション
iTEM: 基本仕様; オプションソリューション

電子顕微鏡用カメラ

TEM用サイドマウントCCDカメラ: MegaViewG2; Veleta; Morada
TEM用ボトムマウントCCDカメラ: KeenViewG2; CantegaG2; Quemesa

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